净化车间(又称洁净车间、无尘车间)是通过控制空气悬浮微粒浓度、温度、湿度、压力等参数,达到特定洁净度等级的封闭生产环境。它广泛应用于对生产环境有严格要求的行业,如半导体、医药、生物技术、食品、精密制造等。
洁净度控制
ISO 5级(百级):每立方米允许≤3,520个≥0.5μm的颗粒,用于芯片生产。
ISO 8级(十万级):常见于制药、医疗器械包装。
采用HEPA/ULPA高效过滤器去除空气中的微粒。
洁净度等级按国际标准划分,例如:
环境参数管理
温湿度:精密制造需恒定温湿度。
压差:保持正压防止外部污染进入,或负压。
气流组织:单向流(层流)或非单向流(湍流),确保污染物快速排出。
材料与设备
墙面/地板:防静电、耐腐蚀的光滑材料(如环氧自流坪)。
风淋室、传递窗:减少人员/物料带入的污染。
空气处理系统:FFU+ HVAC。
人员规范:穿戴洁净服、手套、口罩,经风淋除尘。
清洁流程:定期消毒、微粒监测。

